鑫松電器潔凈氮氣柜您值得擁有

發布時間：2024/12/2 點擊：1061次

產品應用：

適合半導體前端單晶硅制程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現象；由于大部分的存儲柜或者是氮氣柜設計都為全封閉環境，只控制濕度及氧含量濃度這塊，并無自凈功能,故內部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。鑫松電器潔凈氮氣柜則適合存放需要低濕保存，同時又需要避免灰塵污染的物品.

 

相關技術指標： 

1）潔凈等級

專業高效潔凈過濾裝置，濾網采用進口超細玻璃纖維,確保潔凈氮氣柜內CLASS 10~100級/1000級（10級一般是指空柜或每層放置固定數量晶圓盒情況下，必潔淨度能逹到須滿足每立方英尺內顆粒≦10ea@0.3um & ≦20ea@0.2um）。   

2）TDH實驗

即存放在潔凈氮氣柜內經過干燥2小時的硅片不能有不正常或超標返顆粒的現象產生(返顆粒取樣測試后總數平均數與原有硅片顆粒數對比≦10ea (包括0.2um及0.3um))   

3）降濕速度

除濕性能可達到5%以下,空柜或每層放置固定數量晶圓盒，在氮氣流量不大于70L/M的情況下，濕度從50%降至10%所需時間不大于30min；

4) 進口無塵風機：采用進口無塵室專用FFU風機，面風速：0.3～0.45m/s；

5）靜電殘余值測定鑫松電器全功能潔凈氮氣柜（選配）

潔凈氮氣柜內放置的硅片盒，經過干燥2小時后，硅片盒取樣及定點測試靜電值必須≦1kv

6）柜內風速均勻性

潔凈氮氣柜內有氮氣的無死角，可使用風速測定儀來檢測內部硅片放置各點的風速，不能有較大差異。

7）溫濕度顯示及記錄管理。

溫濕度顯示：采用4英寸超大LED顯示，有效視距可達30米；

溫濕度顯示監控: 可對溫濕度作24小時不間斷的監控，在潔凈柜在完全關閉的情況下，濕度不能有超過±5%RH的波動。

 

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